靶材

趨勢研判！2024年中國靶材行業(yè)政策、市場規(guī)模、細(xì)分市場及企業(yè)分析：半導(dǎo)體市場需求恢復(fù)，為靶材市場發(fā)展帶來巨大推動力[圖]

靶材，也稱為濺射靶材，是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。通過不同的激光（離子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電和阻擋的功能。靶材由“靶坯”和“背板”組成，靶坯是由高純金屬制作而來，是高速離子束流轟擊的目標(biāo)；背板通過焊接工藝和靶坯連接，起到固定靶坯的作用，并且背板需要具備導(dǎo)熱導(dǎo)電性。